Penyediaan dan pencirian filem nipis logam platinum dengan menggunakan kaedah sputtering

Mohd Azrul Che Aziz, (2008) Penyediaan dan pencirian filem nipis logam platinum dengan menggunakan kaedah sputtering. Universiti Malaysia Sabah. (Unpublished)

[img]
Preview
Text
ae0000002904.pdf

Download (7MB) | Preview

Abstract

Filem nipis platinum (Pt) dengan berbagai ketebalan disediakan melalui kaedah percikan. Ketebalan sampel dianggarkan melalui masa percikan. Nilai kerintangan dan kekonduksian sampel diukur menggunakan kaedah penduga empat titik. Sampel yang mempunyai nilai kerintangan paling tinggi ialah sampel A yang mempunyai ketebalan 0.4 µm dan mempunyai kerintangan 762.74 Ω/cm. Sampel yang mempunyai kekonduksian paling tinggi ialah sampel H yang mempunyai ketebalan 2.9 µm dan mempunyai kekonduksian 7.76 x 10�³ Ω�¹ cm�¹. Transmisi optik bagi filem nipis platinum dikaji dengan menggunakan alat Spektrofotometer UV-VIS dengan julat panjang gelombang antara 200 - 800 nm. Transmisi optik dalam julat tersebut adalah berkadar terus dengan panjang gelombang.

Item Type: Academic Exercise
Uncontrolled Keywords: Platinum (Pt) thin films, sputtering method, probe method
Subjects: Q Science > QC Physics
Divisions: SCHOOL > School of Science and Technology
Depositing User: Unnamed user with email storage.bpmlib@ums.edu.my
Date Deposited: 09 Jun 2016 02:16
Last Modified: 27 Oct 2017 03:03
URI: http://eprints.ums.edu.my/id/eprint/12041

Actions (login required)

View Item View Item