Fabrikasi dan pencirian diod PIN (SiGe) dengan menggunakan perisian athena dan atlas

Ang, Wei Hoong (2007) Fabrikasi dan pencirian diod PIN (SiGe) dengan menggunakan perisian athena dan atlas. Universiti Malaysia Sabah. (Unpublished)

[img]
Preview
Text
ae0000001597.pdf

Download (1MB) | Preview
[img]
Preview
Text
ae0000001598.pdf

Download (2MB) | Preview

Abstract

Tujuan utama desertasi ini adalah untuk menfabrikasikan diod PIN SiGe serta menguji sifat elektrik dengan menggunakan perisian simulasi ATHENA dan ATLAS. Skop kajian adalah mengkaji ciri-ciri elektrik arus-voltan dan bagi diod pin SiGe. Teknik fabrikasi yang digunakan adalah teknik implantasi ion dan dilakukan seeara simulasi dengan bantuan perisian ATHENA. Perisian ATLAS digunakan untuk mengenalpasti ciri-ciri arus voltan dan bagi diod pin dengan peningkatan kepekatan n ke n + dan p + masing-masing. Bahan dopan bagi n adalah Antimoni(Sb) manakala bagi p ialah Boron(B). Nilai kepekatan n ke n+ ialah 1 x 1015 cm-3 ke 1x 1019 cm-3 dan bagi p ke p+ ialah 1 x 1015 cm-3 ke 1x 1020 cm-3.Dengan penambahan dopan kepada struktur tersebut akan menyebabkan arus semakin meningkat. Diod PIN Slikon Germanium yang mempunyai eiri arus-voltan dengan perubahan kepekatan jenis-n dari 1 x 1015 cm -3 hingga 1 x 1019 cm-3, adalah lebih tinggi daripada perubahan kepekatan jenis-p dari 1x1015 cm-3 hingga 1020 cm-3. Ini bermaksud mobiliti elektron lebih tinggi daripada mobiliti lohong dalam galium arsenik iaitu 3300cm2/v-s dan 1537.5 cm2/v-s masing-masing. Diod PIN galium arsenik bagi pincang balikan mempunyai arus yang lebih tinggi berbanding pincang ke depan kerana Iapisan intrinsik menjadi semakin lebar bagi mengawal voltan putus yang tinggi.

Item Type: Academic Exercise
Keyword: Pin SiGe diode, electric characteristic, ATHENA and ATLAS software, voltage, intrinsic layer
Subjects: T Technology > TK Electrical engineering. Electronics Nuclear engineering
Department: SCHOOL > School of Science and Technology
Depositing User: SITI AZIZAH BINTI IDRIS -
Date Deposited: 09 Dec 2013 10:28
Last Modified: 11 Oct 2017 15:32
URI: https://eprints.ums.edu.my/id/eprint/7741

Actions (login required)

View Item View Item